Ķīmiskie šķidrumi pusvadītāju rūpniecībā: precīzi tīrīšanas un kodināšanas līdzekļi
Atstāj ziņu
Pusvadītāju uzņēmums ir viena no plaši izmantotajām ķīmisko dzērienu jomām. Dažādiem augstas tīrības pakāpes ķīmiskajiem dzērieniem ir būtiska nozīme precīzā tīrīšanā un kodināšanā kādā ražošanas procesa posmā.
Pirmkārt, ķīmisko dzērienu lietderība kādā attīrīšanas procesa posmā. Pusvadītāju ražošana ietver atkārtotu vafeļu grīdas tīrīšanu, lai novērstu dažādus piesārņotājus. Šajā procesā plaši tiek izmantoti ķīmiskie dzērieni, tostarp augstas tīrības pakāpes īpaši tīrs ūdens, sērskābe un ūdeņraža peroksīds. Šiem ķīmiskajiem dzērieniem ir izcila šķīdība un izkliedējamība, kas var veiksmīgi notīrīt pie vafeļu grīdas netīrumus, tostarp gružus un tērauda jonus, pārliecinoties, ka vafeļu grīdas tīrība atbilst vēlamajiem standartiem.
Nākamais ir ķīmisko dzērienu lietderība kādā kodināšanas procesa posmā. Ja tiek ražoti pusvadītāju sīkrīki, tostarp iekļautas shēmas, ir ļoti svarīgi selektīvi iegravēt īso filmu pie vafeļu grīdas, lai izveidotu vēlamo parauga struktūru. Šajā procesā svarīga loma ir dažādiem skābiem un sārmiem šķīdumiem, dabīgiem šķīdinātājiem un dažādiem ķīmiskiem dzērieniem. Tie var, kā vajadzētu, un kontrolējami atlikt vārtu audumu, nenodarot kaitējumu dažādām zonām, pārliecinoties, ka kodināšanas efekti atbilst izkārtojuma prasībām.
Turklāt ķīmiskajiem dzērieniem papildus ir būtiska nozīme nākamajās metodēs, tostarp vafeļu grīdas apšuvumā un vāju filmu nogulsnēšanā. Tagad tie vairs nevēlas apmierināt tehniskās pazīmes, tostarp tīrību un aktivitāti, bet papildus ir jāveic noteikta darbība pārsteidzoši vieglā vidē, lai izvairītos no precīzās ražošanas metožu infekcijas.
