Elektriskās apkures caurules plēves viendabīguma koncepcija:

Elektriskās apkures caurules plēves viendabīguma koncepcija:

Vakuuma pārklāšanas process ir ļoti sarežģīts. Atšķirīgo pārklājuma principu dēļ to var iedalīt daudzos veidos. Tam ir vienots nosaukums tikai tāpēc, ka tam nepieciešams augsts vakuums. Tāpēc arī vakuuma uzklāšanai ar dažādiem principiem faktori, kas ietekmē viendabīgumu, ir atšķirīgi. Un arī pašam viendabīguma jēdzienam ir dažādas nozīmes atkarībā no pārklājuma mēroga un plēves sastāva.

1. Ar biezuma viendabīgumu var saprast arī raupjumu. No optiskās plēves mēroga viedokļa (tas ir, 1/10 viļņa garuma kā vienība, aptuveni 100 A) vakuuma nogulsnēšanās vienmērīgums ir diezgan labs, un raupjumu var viegli kontrolēt 1/10 robežās no redzamās gaismas viļņa garuma, kas nozīmē, ka plēves optiskajām īpašībām nav šķēršļu vakuumuzklāšanai. Tomēr, ja tas attiecas uz viendabīgumu atomu slāņa mērogā, tas ir, lai sasniegtu 10A vai pat 1A virsmas līdzenumu, tas ir galvenais tehniskais saturs un tehniskā vājā vieta vakuuma pārklāšanā. Īpašie kontroles faktori tiks detalizēti izskaidroti atbilstoši dažādiem pārklājumiem.

2. Ķīmiskā sastāva viendabīgums: tas ir, plēvē savienojuma atomu sastāvs mazā izmēra dēļ viegli radīs nevienmērīgas īpašības. Ja SiTiO3 plēves pārklāšanas process nav zinātnisks, tad faktiskais virsmas sastāvs nav SiTiO3, bet var būt citi piemēri. Pārklātā plēve nav vēlamās plēves ķīmiskais sastāvs, kas ir vakuuma pārklāšanas tehniskais saturs.

3. Režģa secības viendabīgums: tas nosaka, ka plēve ir monokristāla, polikristāliska un amorfa, kas ir aktuāla problēma vakuuma pārklāšanas tehnoloģijā. Sīkāku informāciju skatiet tālāk.

Ir divas galvenās kategorijas: iztvaikošanas pārklājumi un izsmidzināšanas pārklājumi, tostarp daudzu veidu pārklājumi, tostarp vakuuma jonu iztvaikošana, magnetronu izsmidzināšana, MBE molekulārā stara epitaksija, sola gēla metode utt.

www.superbheater.com