Augstas temperatūras rūdīšanas krāsns termometra temperatūras kalibrēšanas tehnoloģijas skaidrojums

Tiek ziņots, ka augstas temperatūras rūdīšanas krāsnī tiek izmantota slēgta cikla vadības sistēma, kas sastāv no paātrināta digitālā PLD temperatūras regulatora, termopāra, pirometra un siltuma avota, lai pareizi kontrolētu temperatūru. Kopīgi kontrolējot halogēna lampas dažādos reģionos, temperatūras starpību katrā reģionā var kompensēt temperatūras kontroles procesā, saglabājot nemainīgu temperatūru dažādos substrāta reģionos. Tā kā pirometrs ir uzstādīts dobuma apakšā, tas var uztvert starojumu tikai no substrāta aizmugures un nevar uztvert starojumu no lampas. Tāpēc pirometrs var precīzi izmērīt pamatnes temperatūru. Šī pirometra temperatūras kalibrēšanas princips ir šāds:
1. Ievads pirometrā:
Šajā rakstā ieviestais pirometrs ir termiskā starojuma optiskais pirometrs. Kad pirometrs saņem infrasarkano starojumu no izmērītā objekta, optiskais signāls tiek filtrēts, fotoelektriski pārveidots un pastiprināts, lai kļūtu par analogo signālu, kas pēc tam tiek pārraidīts uz sensora signāla interfeisa shēmas moduli. Šis modulis veic signāla A/D konvertēšanu un pārvērš to ciparu signālā, ko dators var atpazīt. Digitālais signāls, kas tiek padots atpakaļ uz datoru, turpmāk tekstā tiek saukts par pirometra atgriezeniskās saites vērtību.
2. Temperatūras kalibrēšanas tabula:
Saskaņā ar attiecīgajiem likumiem objekta temperatūra ir saistīta ar tā starojumu un spektrālo emisijas spēju. Augstas temperatūras rūdīšanas krāsnīm pirometra uztvertā starojuma daudzums galvenokārt ir atkarīgs no tādiem faktoriem kā substrāta materiāls, dopings, dabīgā oksīda slānis uz virsmas un substrāta temperatūra. Vienam un tā paša veida substrātam (ti, substrātiem ar tādu pašu materiālu, dopingu un virsmas dabīgā oksīda slāni) pirometra saņemtā starojuma daudzums ir saistīts ar substrāta temperatūru. Tāpēc tāda paša veida substrātam pirometra atgriezeniskās saites vērtība atbilst substrāta temperatūrai viens pret vienu. Šī atbilstība veido temperatūras kalibrēšanas datus, un temperatūras kalibrēšanas tabula tiek izmantota, lai saglabātu sakarības datus starp vairākām substrāta temperatūrām un atgriezeniskās saites vērtībām no pirometra. Dažādas temperatūras atbilst dažādām pirometra atgriezeniskās saites vērtībām. Augstas temperatūras atlaidināšanas krāsns dators var aprēķināt pamatnes faktisko temperatūru, pamatojoties uz signāla vērtības atgriezenisko saiti no pirometra un temperatūras kalibrēšanas tabulas.