Kā sildīšanas plāksnes ir sertificētas, lai tās atbilstu pusvadītāju ražošanas iekārtu SEMI standartiem?
Atstāj ziņu
Pusvadītāju ražošanai ir nepieciešama liela materiālu tīrība un tīrība. Sildīšanas plāksnēm, ko izmanto vafeļu apstrādes iekārtās, ir jāatbilst ļoti stingriem SEMI kritērijiem, kas daudz pārsniedz pamata elektrisko drošību, ietverot izplūdi, daļiņu ražošanu un materiālu savietojamību.
Kas ir SEMI standarti
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) ir starptautiska tirdzniecības asociācija, kas veido standartus, lai nodrošinātu pusvadītāju ražošanas iekārtu kvalitāti, drošību un vides saderību. Šie kritēriji ir būtiski tīrībai un veiktspējai, kas nepieciešama pusvadītāju ražošanā. SEMI standarti aptver plašu tēmu spektru, tostarp aprīkojuma drošību (S2), saderību ar vidi (S8) un materiālu -specifiskās prasības. Runājot par sildīšanas plāksnēm SEMI atbilstība nozīmē, ka tās atbilst augstajiem tīrības standartiem, kas nepieciešami pusvadītāju ražošanai.
SEMI standartu atslēga sildītāja plāksnēm
SEMI S{0}} Aprīkojuma drošība
SEMI S2 nosaka vispārīgus drošības noteikumus pusvadītāju iekārtām, lai nodrošinātu, ka sildīšanas plāksnes ir drošas lietošanai ražošanas vidē{1}} SEMI S2 atbilstību apstiprina trešās puses novērtējums, ko veic sertificēts SEMI S2 vērtētājs. Standarts attiecas uz elektrisko drošību, mehānisko integritāti un iekārtu vispārējo darbību.
SEMI S{0}} drošības vadlīnijas apsildāmām ķīmiskām vannām
SEMI S3 attiecas uz iekārtu drošību apsildāmās ķīmiskās vannās. Šis standarts garantē, ka sildīšanas plāksnes, ko izmanto ķīmiskās apstrādes sistēmās, nerada drošības riskus vai darbības neefektivitāti. Tas ietver arī materiālus un struktūru, lai izvairītos no piesārņojuma ar karstu ķīmisko šķīdumu.
SEMI F{0}} Specifikācija polimēru materiāliem īpaši tīra ūdens un šķidrās ķīmiskās sistēmās
SEMI F57 nosaka standartus polimēru materiāliem, tostarp pārklājumiem uz sildīšanas plāksnēm, kas nonāk saskarē ar īpaši tīru ūdeni un šķidrām ķīmiskām vielām. Šis standarts nodrošina, ka pusvadītāju ražošanas iekārtās izmantotie materiāli ir saderīgi ar īpaši-tīriem šķidrumiem un neietekmē procesa tīrību.
Sildīšanas plākšņu sertifikācijas standarti
Sildīšanas plāksnes pusvadītāju iekārtās ir rūpīgi jāpārbauda atbilstoši SEMI standartiem. Šie testi ir saistīti ar materiāla īpašībām, piesārņojuma izturību un ķīmisko savietojamību:
Izplūdes gāzes (ASTM E 595)
Izplūde ir gaistošu ķīmisko vielu emisija no sildīšanas plāksnes materiāliem karsēšanas laikā. Pusvadītāju ražošanā piesārņojums tīras telpas vidē var izraisīt bojājumus pusvadītāju ierīcēs pat no neliela izplūdes līmeņa. Sildīšanas plāksnes, kas izgatavotas no tādiem materiāliem kā PTFE un PFA pārklājumi, ir jāpārbauda attiecībā uz izplūdi saskaņā ar ASTM E595 prasībām, lai garantētu, ka darbības laikā tās neizdala bīstamus savienojumus.
Daļiņu nokrišana-
Sildīšanas plāksnes jākonstruē tā, lai līdz minimumam samazinātu daļiņu veidošanos, kas var piesārņot vafeles vai ķīmiskās darbības. Jebkurš materiāls, kas var nonākt saskarē ar procesa šķidrumiem, ir jāpārbauda, lai nodrošinātu, ka tas neizdala daļiņas tādā līmenī, kas traucēs delikātos pusvadītāju materiālu ražošanas procesus.
Izturība pret procesa ķimikālijām
Sildīšanas plāksnes pusvadītāju ražošanā bieži tiek pakļautas naidīgām vielām, piemēram, skābēm, šķīdinātājiem un īpaši tīram ūdenim. Šiem materiāliem ir jābūt izturīgiem pret koroziju un izturīgiem pret degradāciju unikālos pusvadītāju ražošanas procesa apstākļos. PTFE un PFA pārklājumi tiek plaši izmantoti uz sildīšanas plāksnēm, pateicoties to izcilajai ķīmiskajai izturībai, nodrošinot sildvirsmas integritātes saglabāšanu, neievadot nekādus piesārņotājus.
SEMI standarti apsildāmām plāksnēm un patronām Svarīgi SEMI standarti SEMI S{0}} Iekārtu drošība (vispārīgās drošības prasības)
SEMI S{0}} ķīmisko vannas sildītāju drošības vadlīnijas
SEMI F{0}} Specifikācija polimēru materiāliem īpaši tīra ūdens un šķidrās ķīmiskās sistēmās
ASTM E595 izplūdes gāzes testa metode
SEMI F47 — ieteicamā prakse pusvadītāju ražošanas iekārtām
Secinājums
SEMI ir standarts, ka pusvadītāju iekārtās izmantotajām sildīšanas plāksnēm jāatbilst pusvadītāju nozares tīrības un drošības standartiem. Sildīšanas plāksnes ir sertificētas bez metāla piesārņojuma, samazina daļiņu izkliedi un atbilst izplūdes noteikumiem, lai aizsargātu pusvadītāju ražošanas procesu. Nišas nozares izstrādā savus īpašos standartus, lai apmierinātu savas īpašās tehniskās vajadzības. Atbilstība šādiem standartiem nodrošina, ka iekārta atbilst stingrām, augstas veiktspējas prasībām, ko nosaka pusvadītāju nozare.
