Kā PTFE sildītājus izmanto, lai uzsildītu elektropolizētu pusvadītāju gāzes paneļu skalošanas ūdeni?
Atstāj ziņu
Pusvadītāju gāzes panelis ir mākslas darbs ar virsmas tīrību, kas izgatavots no cieta nerūsējošā tērauda, pēc tam elektropulēts līdz spoguļa spīdumam. Pēdējā tīrīšana ir skalošana ar karstu īpaši tīru ūdeni, kam jābūt tikpat tīram kā pašam panelim. Iegremdējamā sildītāja apkure ar ūdeni nekādā gadījumā var būt viena metāla jona avots, kas nogulsnētu atpakaļ uz tīras, bez krāteriem{2}} virsmas.
Elektropolizēta gāzes paneļu skalošana PTFE sildītājā nodrošina siltumenerģiju, kas neapdraud virsmas ķīmisko sastāvu vai jonu tīrību un ir daļa no piesārņojuma kontroles.
Apsildāma īpaši tīra ūdens pēdējā paneļa tīrīšanas loma
Elektropolētiem pusvadītāju gāzes paneļiem ir nepieciešama ļoti stingri regulēta pēcapstrādes{0}}tīrīšana, lai novērstu elektrolītus un mikroskopiskos piemaisījumus no pulēšanas. Šādas atliekas, ja tās tiek atstātas, var izraisīt koroziju vai daļiņu veidošanos īpaši-augstas tīrības gāzes padeves sistēmās.
Skalošanas procedūra parasti sastāv no:
Karsts dejonizēts (DI) ūdens (60–80 grādi)
Nepārtraukta gāzes paneļu bloku skalošana/iegremdēšana
Jonu apmaiņas pulēšanas gultas augstas tīrības pakāpes pārstrādes cilpās
Sildīšana uzlabo tīrīšanas kinētiku, jo palielinās elektrolītu pārpalikumu šķīdība un uzlabojas difūzijas ātrums virsmas robežslānī.
PTFE iegremdējamie sildītāji piesārņojuma novēršanai-Bezmaksas siltuma avots
Pusvadītāju lietojumos parastais risinājums īpaši tīra skalošanas ūdens sildīšanai ir PTFE iegremdējamais sildītājs. PTFE apvalks ir ķīmiski inerta, nemetāliska barjera, kas novērš jonu piesārņojumu.
Sildītājs ir pēdējais neredzamais elektropulētā spoguļa aizsargs...
Galvenie veiktspējas atribūti ir:
Nav izskalota dzelzs, hroma, niķeļa vai citu metāla jonu
PTFE virsma ir ķīmiski inerta un neuzrāda reaktivitāti īpaši tīros apstākļos.
Zema enerģijas līmeņa gluda virsma, kas kavē zvīņošanos un daļiņu pielipšanu
Savietojams ar īpaši tīra ūdens sistēmām līdz 18 megohm{1}}centimetriem
Veicot PTFE sildītāja elektropulētu gāzes paneļu skalošanu, materiāla tīrība ir vienlīdz svarīga termiskai veiktspējai, jo pat neliels jonu piesārņojums var atkārtoti nogulsnēties uz īpaši gludām nerūsējošā tērauda virsmām.
Paaugstinātas skalošanas temperatūras termiskās priekšrocības
Īpaši tīra ūdens sildīšana pēdējā skalošanas reizē nodrošina vairākas procesa priekšrocības:
Uzlabota elektropulēšanas skābju un sāļu pārpalikumu likvidēšana
Zemāks virsmas spraigums, lai uzlabotu mikroiezīmju mitrināšanu
Skalošanas cikls ir ātrāks
Efektīvāka vāji saistītu piesārņotāju desorbcija
Lai saglabātu virsmas integritāti, ir nepieciešama termiskā tīrīšana, jo elektropulētas virsmas ir ļoti jutīgas pret metāla pārklāšanu.
Piezīme par tīrību: tvertnes vides pārvaldība
Lai ūdens būtu tīrs, ir nepieciešama rūpīga skalošanas sistēmas vides pārvaldība. Augstākās-pusvadītāju tīrīšanas sistēmās:
Skalošanas tvertnes ir noslēgtas un pārklātas ar slāpekļa pārklājumu.
Samazināt CO 2 iekļūšanu atmosfērā, lai novērstu karbonātu veidošanos
Pretestība tiek nepārtraukti uzraudzīta
Tiek izlaistas galīgās pulēšanas sveķu gultas
Ja nav inertās gāzes pārklājuma, izšķīdis CO2 var samazināt ūdens pretestību un mainīt virsmas ķīmisko sastāvu, palielinot piesārņojuma risku pēdējā skalošanas ciklā.
Augstas tīrības pakāpes recirkulācijas sistēmu integrācija
PTFE iegremdējamos sildītājus parasti izmanto slēgta cikla īpaši tīra ūdens sistēmās, kas satur:
Augstas efektivitātes makrodaļiņu filtrēšanas posmi
Jonu-apmaiņas pulēšanas vienības, jaukta-gulta
Recirkulācijas sūkņi ar temperatūras kontroli
Vadības un pretestības uzraudzības sensori
Sildītājs ir siltuma modulis, kas nepiesārņo sistēmu. Šajā slēgtajā sistēmā temperatūras kontrole tiek panākta, neapdraudot ķīmisko tīrību.
Virsmas integritātes un piesārņojuma riska pārvaldība
Elektropulētiem pusvadītāju gāzes paneļiem ārkārtīgi{0}}gluda nanomēroga virsma ir ārkārtīgi svarīga. Tā ir:
Jonu pār{0}}nogulsnēšanās
Daļiņu saķere
Lokalizētas korozijas ierosināšana
Jebkurš metālisks piesārņojums, kas tiek ievadīts pēdējās skalošanas laikā, var pastāvīgi nostiprināties vai ķīmiski piestiprināties pie virsmas. Šī problēma padara vēl svarīgāku izmantot pilnīgi inertus sildelementus, piemēram, PTFE-iegremdējamos sildītājus ar apvalku.
Pēdējās domas
PTFE iegremdējamais sildītājs ir galvenā sastāvdaļa pusvadītāju gāzes paneļu galīgajā tīrīšanas procedūrā. Siltuma enerģija PTFE sildītāja elektropulētās gāzes paneļa skalošanā, neapdraudot jonu tīrību, saglabājot elektropulētu virsmu tīru no piesārņojuma visjutīgākajā apstrādes stadijā.
Vislielākā tehnoloģija prasa, lai pat visvienkāršākās darbības, piemēram, karstā īpaši tīrā skalošana tiktu veikta ar pilnīgu materiāla integritāti. Pēdējais tīrīšanas process pusvadītāju ražošanā nav skalošana, bet gan konservēšanas procedūra, kas nodrošina katrai virsmai paredzēto precizitāti un tīrību.








