Gāzu izvadīšana un tīrība — slēptais piesārņojuma risks

Gāzu izvadīšana un tīrība: slēpta piesārņojuma risks

Daudzos rūpnieciskos apstākļos netiek ziņots par nelielu kārtridžu sildītāja radīto piesārņojumu. Dažas eļļas tvaiku molekulas vai nedaudz oksīda putekļu procesu nemainīs. Piesārņojums ir katastrofa vakuuma lietojumos, jo īpaši tajos, kas attiecas uz delikātām virsmām vai materiāliem ar ļoti zemu piemaisījumu līmeni. Viens kārtridžu sildītājs var izdalīt pietiekami daudz materiāla, lai kaitētu visai pusvadītāju plāksnīšu partijai vai sabojātu optisko pārklājumu.

Izvadīšana no gāzēm ir gāzu, ūdens tvaiku un citu gaistošu vielu izdalīšanās process, ko materiāli ir absorbējuši vakuumā. Katrai vielai ir zināma gāzes izdalīšanās. Likme ir atkarīga no materiāla, tā virsmas laukuma, karstuma un vakuuma. Apvalka virsma, magnija oksīda izolācija, spaiļu blīves un svina vadu izolācija ir vietas, kur kasetnes sildītājs var izplūst gāzē.

Magnija oksīda izolācija parastajā kārtridžu sildītājā aiztur mitrumu. Šis mitrums normālā gaisa spiedienā nav bīstams. Kad tas atrodas vakuumā, tas izplūst, kas var piesārņot kameru un izraisīt koroziju vai elektrības noplūdi. Lai atbrīvotos no mitruma pirms montāžas, vakuuma -kārtridžu sildītājos tiek izmantots MgO, kas ir rūpīgi apstrādāts, cepot to augstā temperatūrā vakuumā. Šī procedūra ir nepieciešama zemas -gāzes izvadīšanas veiktspējai.

Apvalka materiāls var izdalīt gāzi. Nozīme ir virsmas oksīdiem, apstrādei izmantotajām eļļām un apstrādes rezultātā radušajiem piesārņotājiem. Izgatavojot vakuuma kārtridžu sildītājus, tie veic ļoti rūpīgas tīrīšanas darbības, kas parasti ietver ultraskaņas tīrīšanu konkrētos šķīdinātājos un pēc tam cepšanu vakuumā. Uzglabāt lietas tīras līdz uzstādīšanai ir viegli, ja valkā tīrus cimdus un ievieto tos noslēgtos traukos.

Termināla blīves ir izplatīts gāzes izplūdes cēlonis. Vakuumā organiskie materiāli, piemēram, silikons, epoksīda vai plastmasas izolatori, izdala gaistošas ​​ķīmiskas vielas. Vakuuma kārtridžu sildītājiem ir keramikas, stikla vai metāla blīves, kurām ir ļoti zems izplūdes līmenis. Šie blīvējumi var būt no keramikas-pret-metāla, stikla-pret-metāla vai kompresijas blīves ar metāla blīvēm. Šīs blīves maksā vairāk, taču tās ir nepieciešamas tīram vakuuma pakalpojumam.

Vēl viens iespējamais piesārņojums ir svina stieples izolācija. Daži fluorpolimēri un parastais PVC var izdalīties gāzēs. Vakuuma lietojumiem labāk ir izmantot īpaši izgatavotas izolācijas ar zemu-izplūdes gāzēm vai tukša metāla vadus ar keramikas lodīšu izolatoriem.

Tiek izmērīts un pierakstīts, cik ātri kārtridžs sildītājs izdalās. Smagiem darbiem, piemēram, pusvadītāju apstrādei vai telpas imitēšanai, sildītājiem var būt jāatbilst noteiktiem izplūdes kritērijiem, piemēram, tiem, kas noteikti ASTM E595. Šis tests parāda, cik tīrs ir kaut kas, mērot, cik daudz masas tiek zaudēta un cik daudz gaistošu kondensējamo materiālu ir savākts.

Viena izplatīta kļūda, pamatojoties uz pieredzi, ir domāt, ka kārtridžu sildītājs, kas labi darbojas neapstrādātā vakuumā, darbosies tikpat labi arī augstā vakuumā. Samazinoties spiedienam, palielinās gāzu izdalīšanās ātrums. Sildītājs, kas darbojas ar 1 torr, var nedarboties zem 10⁻⁶ torr. Ir svarīgi pielāgot kārtridžu sildītāju reālajam aplikācijas vakuuma līmenim.

Īsāk sakot, tīrība un gāzu izvadīšana ir ļoti svarīga vakuuma kasetņu sildītājiem. Katra daļa, sākot no MgO izolācijas līdz apvalka virsmai un beidzot ar spaiļu blīvēm, ir jāizvēlas un jāveido tā, lai ar zemu izplūdi. Ja jums ir nepieciešams īpaši-tīrs vakuums, jums ir jāizmanto kārtridžu sildītāji, kas ir pārbaudīti attiecībā uz izplūdi, un kuriem ir skaidri reģistrēta to apstrāde. Profesionāla konsultācija nodrošina, ka jūsu izvēlētais sildītājs atbilst vakuuma procesa tīrīšanas standartiem, kam tas ir nepieciešams.