Pusvadītāju ražošana: īpaši{0}}tīras prasības vafeļu izgatavotajiem rīkiem

Pusvadītāju ražošana: kāpēc ultra{0}}tīras prasības padara vai pārtrauc vafeļu fab rīkus

Ikviens, kurš pārzina pusvadītāju izgatavošanu, saprot nerimstošo tiekšanos pēc pilnības. Pat viens mikroskopisks piesārņotājs var sabojāt visu vafeļu partiju, izraisot katastrofālus ražas zudumus. Kopējais, tomēr kritiskais ievainojamības punkts atrodas pašā aprīkojumā, kas kontrolē procesa būtību: temperatūru. Šeit ir pazemīgietermopāripāriet no vienkārša sensora uz komponentu, kam ir -kritiski svarīga nozīme.

Īpaši-tīrajā vafeļu materiāla vidē katra materiāla izvēle ir svarīga. Standarta rūpnieciskaistermopāriun ar tiem saistītie apvalku materiāli var kļūt par neparedzētiem piesārņojuma avotiem. Izplūdes gāzes, daļiņu izdalīšanās vai metāla jonu migrācija no šiem komponentiem var nogulsnēties uz plāksnēm vai indēm jutīgās kameras atmosfērās. Izaicinājums ir divkāršs: panākt precīzu, uzticamu temperatūras mērījumu, vienlaikus garantējot absolūtu materiālu savietojamību un tīrību.

Ne visitermopāriir radīti vienlīdzīgi šim uzdevumam. Lai gan temperatūras mērīšanas pamatprincips, izmantojot Zēbeka efektu, saglabājas, to konstrukcija ir tā, kas tos atšķir. Parastie rūpnieciskie veidi ar metāla apvalkiem (piemēram, nerūsējošais tērauds) parasti nav piemēroti kritisko procesu kamerām. Tā vietā jaudīgie sensori bieži izmanto augstas-tīrības materiālus, piemēram, noteiktas kategorijas nerūsējošais tērauds ar pasivētām virsmām, inkonels vai pat keramikas apvalki (piemēram, alumīnija oksīds) agresīvākajām vidēm. Izvēle lielā mērā ir atkarīga no procesa: difūzijas krāsns, epitaksiālais reaktors vai plazmas kodināšanas kamera nodrošina unikālus temperatūras diapazonus un ķīmisko iedarbību.

Pamatojoties uz nozares pieredzi, šeit ir galvenie apsvērumi un praktiski padomi atlasei un pārvaldībaitermopārišādos prasīgos iestatījumos:

Materiālu savietojamība ir vissvarīgākā:Apvalka materiālam jābūt inertam pret procesa gāzēm un temperatūru. Piemēram, atermopāriaugstas{0}}temperatūras oksidācijas caurulē ir jāiztur oksidēšanās un jāsamazina silīcija patēriņš. Konsultācijas gan ar rīka OEM, gan ar sensoru speciālistu nav-apspriežamas.

Koncentrējieties uz "tīru" dizainu:meklēttermopāriīpaši izstrādāts pusvadītāju lietojumiem. Funkcijas ietver gludas, elektropulētas metināšanas, lai samazinātu daļiņu uztvērējus, hermētiskas blīves, lai novērstu iekšēju gāzu izdalīšanos, un īpaši -augstas tīrības minerālizolācijas izmantošana.

Kalibrēšana un izsekojamība:Regulāra, izsekojama kalibrēšana ir vairāk nekā labākā prakse; tā ir nepieciešamība. Iekļūttermopārirādījumus var tieši pārvērst par procesa novirzi. Stingra kalibrēšanas grafika uzturēšana nodrošina receptes konsekvenci un instrumentu atbilstību visā ražotnē.

Uzstādīšana un apstrāde:Pat labākaistermopārivar kļūt par piesārņotāju, ja ar to rīkojas nepareizi. Uzstādīšana jāveic, izmantojot tīras telpas protokolus, izmantojot atbilstošus instrumentus, lai izvairītos no apvalka skrāpējumiem vai piesārņošanas.

Galu galā galvenais ieteikums ir aplūkot temperatūras noteikšanu nevis kā vispārēju komponentu, bet gan kā procesa komplekta neatņemamu sastāvdaļu. Thetermopārijānorāda ar tādu pašu precizitāti kā kameras starpliku vai gāzes padeves sistēmu. Kompromiss attiecībā uz tā tīrību vai specifikāciju tieši apdraud produkta ražu.

Veiksmīga navigācija šajās īpaši-tīrajās prasībās bieži vien ir atkarīga no pāriet no-no -noliktajiem risinājumiem. Tāpat kā dažādiem pusvadītāju procesiem-no MEMS līdz progresīviem loģiskajiem mezgliem-ir nepieciešamas pielāgotas pieejas, atbalsta instrumentiem, tostarp temperatūras noteikšanai, ir nepieciešama īpaša dizaina filozofija. Optimāla veiktspēja tiek sasniegta, ja sensora izvēle un integrācija tiek uzskatīta par specializētu jomu, kas lieliski atbilst katra konkrētā instrumenta un procesa posma unikālajām siltuma un piesārņojuma kontroles prasībām.