Pusvadītāju ultraskaņas tīrīšanas mašīna
Atstāj ziņu
Pusvadītāju ultraskaņas tīrīšanas mašīna
Pusvadītāju rūpniecība ir mūsdienu elektroniskās rūpniecības kodols, un pusvadītāju nozares pamats ir silīcija materiālu rūpniecība. Lai gan turpina parādīties dažādi jauni pusvadītāju materiāli, vairāk nekā 90 procenti pusvadītāju ierīču un ķēžu, jo īpaši īpaši liela mēroga integrālās shēmas (ULSI), ir izgatavotas uz augstas tīrības pakāpes un augstas kvalitātes silīcija monokristālu pulēšanas un epitaksiālajām plāksnēm.
Silīcija plāksnīšu tīrīšanas nozīme pusvadītāju rūpniecībā ir augstu novērtēta kopš 1950. gadu sākuma, jo piesārņotāji uz silīcija plāksnīšu virsmas var nopietni ietekmēt ierīču veiktspēju, uzticamību un ražīgumu. Strauji attīstoties mikroelektronikas tehnoloģijām un pieaugot pieprasījumam pēc izejvielām, piesārņojošo vielu ietekme uz ierīcēm kļūst arvien izteiktāka.
1970. gados tika izstrādāts daudzkanālu elektronu reizinātājs, kura pamatā bija viena kanāla elektronu reizinātājs. Mikrokanālu plāksnes ir plaši izmantotas to vienkāršās struktūras, lielā pastiprinājuma, ātras laika reakcijas un telpiskās attēlveidošanas īpašību dēļ. To galvenokārt izmanto dažāda veida attēla pastiprinātājos, nakts redzamības ierīcēs, kvantu pozīcijas detektoros, staru pastiprinātājos, lauka jonu mikroskopos, īpaši ātro platjoslas osciloskopos, fotoelektriskajos reizinātājos utt. Mikrokanālu plāksne ir vairāku masīvu elektronu pavairotājs, kas ir zema apgaismojuma līmeņa attēla pastiprinātāja galvenā sastāvdaļa. MCP ražošanas process ir garš un sarežģīts, un acīmredzamie defekti ir viens no galvenajiem faktoriem, kas ierobežo MCP ražu. MCP ražošanas procesā ir neizbēgami tikt piesārņotam ar putekļiem, metāliem, organiskām un neorganiskām vielām. Šie piesārņotāji var viegli izraisīt virsmas defektus un netīrumus caurumos, kā rezultātā rodas emisijas punkti, melni plankumi, tumši plankumi utt., kas izraisa MCP iznākuma samazināšanos, padarot cauruļu kvalitāti nestabilu un pat neefektīvu. Tāpēc ir svarīgi izmantot ultraskaņas tīrīšanas tehnoloģiju, lai MCP ražošanas procesā noņemtu piesārņotājus.
www.superbheater.com
