Vakuuma formēšanas mašīnas elektronu staru pārklāšanas mašīnas virsmas temperatūra ir proporcionāla elektronu stara intensitātei

Vakuuma formēšanas mašīnas elektronu staru pārklāšanas mašīnas virsmas temperatūra ir proporcionāla elektronu stara intensitātei

Plēvju un apstrādāto detaļu virsmas temperatūra ir proporcionāla elektronu stara intensitātei. Elektronu stara intensitāti var kontrolēt, kontrolējot strāvas plūsmu uz kvēldiega, tādējādi kontrolējot plānās kārtiņas materiāla un apstrādāto detaļu virsmas temperatūru.

Vakuuma formēšanas mašīnas elektronu staru pārklāšanas iekārtai vispirms ir jāuzsilda kvēldiegs

Kad darbojas elektronu staru pārklājums, vispirms ir jāuzsilda kvēldiegs. Kvēldiega priekšsildīšanas strāva ir 60-90A, un priekšsildīšanas laiks ir vairāk nekā 20 minūtes. Pēc kvēldiega uzkarsēšanas kvēldiega (katoda) elektronu potenciālā enerģija palielinās, gatavojoties elektronu emisijai. Šajā laikā, kad ir ieslēgts 20KV]JI~ (2) spriegums, kvēldiegs (katods) elektriskā lauka iedarbībā sāk izstarot elektronus. Fokusēšanas sistēmas, novirzes spoles un paātrinājuma sprieguma kombinētajā darbībā kvēldiega (katoda) izstarotie elektroni tiek savākti starā un ļoti lielā ātrumā izstaro uz apstrādājamo plēves materiālu vai daļu.

Pasākumi, lai uzlabotu vakuuma pārklājuma iekārtu plēves slāni:

(1) Cep pēc apšuvuma. Pēc pēdējās plēves kārtas pārklājuma nekavējoties nepārtrauciet cepšanu un turpiniet "rūdīt" 10 minūtes. Padariet plēves struktūru stabilāku.

(1) Dzesēšanas laiks tiek attiecīgi pagarināts un tiek veikta atkausēšanas novecošana. Samaziniet termisko stresu, ko izraisa pārmērīga temperatūras atšķirība starp vakuuma kameru un ārpusi.

(2) Augstas atstarošanas plēves un filtra plēves iztvaikošanas procesā substrāta temperatūra nedrīkst būt pārāk augsta, un augstā temperatūrā ir viegli radīt termisko spriegumu. Un tas negatīvi ietekmē titāna oksīda, tantala oksīda un citu plēves materiālu optisko stabilitāti.

(iii) Pārklāšanas process ar jonu palīdzību, lai samazinātu stresu.

(iv) Izvēlieties atbilstošo plēves sistēmu, lai tā atbilstu pirmajam plēves materiāla slānim un pamatnei. (Piemēram, piecu slāņu pretatspīdumu plēve izmanto Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 var izmantot arī SV -5 (ZrO2 TiO2 jaukts plēves materiāls) vai cits jaukts augstas refrakcijas indeksa plēves materiāls.

(V) Atbilstoši samaziniet iztvaikošanas ātrumu (Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S atsauces ātrums)

(vi) Visi oksīda plēves materiāli ir piepildīti ar skābekli un reaktīvi pārklāti, un skābekļa uzņemšanas daudzums tiek kontrolēts atbilstoši dažādiem plēves materiāliem.

www.superbheater.com