Vakuuma pārklāšanas mašīna ir reakcija, kas notiek ne tikai uz detaļas virsmas

Vakuuma pārklāšanas mašīna ir reakcija, kas notiek ne tikai uz detaļas virsmas

Izolatoru magnetrona reaktīvā izsmidzināšana šķiet vienkārša, taču faktiskā darbība ir sarežģīta. Galvenā problēma ir tā, ka reakcija notiek ne tikai uz detaļas virsmas, bet arī uz anoda, vakuuma kameras virsmas un mērķa avota virsmas. Tādējādi izraisot ugunsgrēka dzēšanu, mērķa avota un sagataves virsmas loka izliekumu un tā tālāk. Dvīņu mērķa avota tehnoloģija, ko Leybold izgudroja Vācijā, ļoti labi atrisina šo problēmu. Princips ir tāds, ka mērķa avotu pāris ir viens otra katods un anods, tādējādi novēršot anoda virsmas oksidāciju vai nitridēšanu. Dzesēšana ir nepieciešama visiem avotiem (magnetrons, daudzloka, joni), jo liela daļa enerģijas tiek pārvērsta siltumā. Ja nav dzesēšanas vai nepietiekama dzesēšana, šis karstums liks mērķa avota temperatūrai sasniegt vairāk nekā 1,000 grādus un izkausēs visu mērķa avotu. .

Vakuuma pārklājējs izgudroja magnetronu reaktīvo izsmidzināšanu

Metālus un sakausējumus ir viegli izsmidzināt ar magnetrona mērķa avotiem, un ir ērta aizdedze un izsmidzināšana. Tas ir tāpēc, ka izsmidzinātās daļas mērķis (katods), plazma un vakuuma kamera var veidot ķēdi. Bet, ja tiek izsmidzināti izolatori, piemēram, keramika, ķēde ir bojāta. Tāpēc cilvēki izmanto augstfrekvences barošanas avotu un pievieno cilpai spēcīgu kondensatoru. Tādā veidā mērķa materiāls kļūst par kondensatoru izolācijas ķēdē.

Tomēr augstfrekvences magnetrona izsmidzināšanas barošanas avots ir dārgs, izsmidzināšanas ātrums ir ļoti mazs, un zemējuma tehnoloģija ir ļoti sarežģīta, tāpēc to ir grūti izmantot plašā mērogā. Lai atrisinātu šo problēmu, tika izgudrota magnetrona reaktīvā izsmidzināšana. Tas ir, izmantojot metāla mērķi, pievienojot argonu un reaktīvo gāzi, piemēram, slāpekli vai skābekli. Kad metāla mērķis sasniedz daļu, tas savienojas ar reaktīvo gāzi, veidojot nitrīdus vai oksīdus enerģijas pārveidošanas dēļ.

www.superbheater.com