Vakuuma galvanizācijas iekārtas Plāno plēvju optiskās īpašības

Vakuuma galvanizācijas iekārtas Plāno plēvju optiskās īpašības

Plāno kārtiņu optiskās īpašības, piemēram, refrakcijas indekss, absorbcija un lāzera bojājuma slieksnis, galvenokārt ir atkarīgas no plēves slāņa mikrostruktūras. Plēves materiāls, atlikušais gāzes spiediens un substrāta temperatūra var ietekmēt plēves mikrostruktūru. Ja iztvaikošanas ceļā nogulsnētajiem atomiem ir zema mobilitāte uz substrāta virsmas, plēve saturēs mikroporas. Kad plēvi pakļauj mitram gaisam, šīs poras pakāpeniski piepildās ar ūdens tvaikiem.

Vakuuma pārklāšanas iekārtas paaugstina pamatnes temperatūru

Tradicionālajiem pārklāšanas procesiem nepieciešama paaugstināta substrāta temperatūra (parasti ap 300 grādiem); uzlabotas metodes, piemēram, jonu nogulsnēšanu (IAD), var veikt istabas temperatūrā. IAD process ne tikai ražo plēves ar labākām fizikālajām īpašībām nekā parastajiem pārklāšanas procesiem, bet arī var tikt uzklāts uz pamatnēm, kas izgatavotas no plastmasas. Tradicionālā plānās kārtiņas nogulsnēšanas metode ir bijusi termiskā iztvaikošana, izmantojot vai nu ar rezistīvi karsējamiem iztvaikošanas avotiem, vai ar elektronu staru iztvaikošanas avotiem. Plēves īpašības galvenokārt nosaka nogulsnēto atomu enerģija, kas parastajā iztvaikošanas gadījumā ir tikai aptuveni 0,1 eV. IAD nogulsnēšana izraisa tiešu jonizētu tvaiku nogulsnēšanos un pievieno augošajai plēvei aktivācijas enerģiju, parasti aptuveni 50 eV. Jonu avots uzlabo parastās elektronu staru iztvaikošanas plēves īpašības, virzot staru no jonu pistoles uz substrāta virsmu un augošo plēvi.

Plēves absorbētais mitrums aizvieto poras un tukšumus, izraisot plēves refrakcijas indeksa palielināšanos. Tā kā plēves fiziskais biezums paliek nemainīgs, šis refrakcijas koeficienta pieaugums ir saistīts ar atbilstošu optiskā biezuma palielināšanos, kas savukārt izraisa plēves spektrālo īpašību nobīdi uz garākiem viļņu garumiem. Lai samazinātu šo spektrālo nobīdi, ko izraisa plēves slānī esošo mikroporu tilpums un skaits, tiek izmantoti enerģētiskie joni, lai pārnestu savu impulsu uz iztvaikojošā materiāla atomiem, tādējādi ievērojami palielinot materiāla atomu mobilitāti kondensācijas laikā uz substrāta virsmas.

www.superbheater.com