Elektrisko apkures cauruļu triodes izsmidzināšana

Elektrisko apkures cauruļu triodes izsmidzināšana

Trīspolārā izsmidzināšana ir elektroda - karstā katoda - pievienošana bipolārās izsmidzināšanas ierīcei, kas izstaro karstus elektronus. Zem elektriskā lauka pievilkšanas karstie elektroni iziet cauri plazmas apgabalam starp mērķi un bāzes elektrodu, pastiprinot karsto elektronu izlādi. Tas var ne tikai uzlabot izsmidzināšanas ātrumu, bet arī padarīt ērtāku izsmidzināšanas apstākļu kontroli. Strāvas blīvums palielinās līdz 1-3mA/cm2, un mērķa spriegums samazinās līdz 1-2kV. Karstā katoda negatīvais nobīdes spriegums 0-50v. Tādā veidā tiek palielināts izsmidzināšanas ātrums un uzlabota pārklājuma kvalitāte, pateicoties palielinātam nogulsnēšanās vakuumam.

Četrpolu izsmidzināšana

Pamatojoties uz triodes izsmidzināšanu, ārpus pārklājuma telpas tiek pievienota papildu savienošanas spole, kas pazīstama arī kā papildu anods vai stabils elektrods. Savienošanas spoles funkcija ir savākt elektronus starp mērķa katodu un substrāta anodu, veidojot starp tiem zema sprieguma un lielas strāvas plazmas loka kolonnu. Liels skaits elektronu saduras ar gāzi un jonizējas, radot lielu skaitu jonu. Elektronu spirālveida kustība palielina attālumu, kādā tie sasniedz elektronu kolektoru, tādējādi palielinot sadursmes jonizācijas iespējamību ar strāvas blīvumu 2-5mA/cm2. Turklāt savienojuma spolei ir arī nozīme izlādes stabilizācijā.

Šī izsmidzināšanas metode joprojām nevar nomākt substrāta bombardēšanu ar ātrdarbīgiem elektroniem, ko ģenerē mērķis, un pastāv arī tādas problēmas kā plēves slāņa piesārņojums kvēldiega piemaisījumu dēļ.

RF izsmidzināšana

Sešdesmitajos gados radiofrekvences kvēlizlāde tika izmantota, lai izgatavotu plānas plēves no jebkura materiāla no vadītājiem līdz izolatoriem, kas bija plaši izmantota izsmidzināšanas metode. Radiofrekvence attiecas uz frekvenci radioviļņu pārraides diapazonā. RF izsmidzināšana ir process, kurā augstfrekvences barošanas avots tiek pievienots mērķa katodam. Lai izvairītos no traucējumiem radiostacijas darbībā, izsmidzināšanai paredzētā frekvence ir iestatīta uz 13,56 MHz. Augstfrekvences impulsu ietekmē elektroni tiek pakļauti lielākam attālumam

Atdalīšanas kustība izraisa vairāk sadursmju ar gāzes atomiem. Tādā veidā gāzi var pilnīgāk jonizēt, tādējādi uzlabojot izsmidzināšanas efektu. Radiofrekvences strāvas avota mainīga elektriskā lauka iedarbībā gāzē esošie elektroni svārstās un jonizē gāzi plazmā. RF izsmidzināšanas trūkums ir tas, ka lieljaudas RF barošanas avoti ir ne tikai dārgi, bet arī rada problēmas personiskajai aizsardzībai. Tāpēc RF izsmidzināšana nav piemērota rūpnieciskai ražošanai.

www.superbheater.com